高純度シラン
信越化学の高純度シラン類は、半導体絶縁膜、エピ膜等のエレクトニクス用途、光ファイバーの原料となるファイバー用途、ファインセラミックス等のケミカル用途と、幅広い用途に使われています。高度な精製技術、厳しい品質管理、そして徹底した容器管理等に支えられた純度の高さと安定供給で、お客様の多様なニーズにお応えし、厚い信頼をいただいています。
用途
ケミカル用
エレクトニクス用
ファイバー用
ケミカル用
製品物性
| 商品名 | 化学名 | 分子式 | 外観 | 密度(g/cm3) | 融点（°C） | 沸点（°C） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| KA-03 | トリクロロシラン | SiHCl3 | 無色透明液体 | 1.34(20°C） | －126.6 | 31.8 |
| KA-04 | 四塩化ケイ素 | SiCl4 | 無色透明液体 | 1.48(20°C） | －68.8 | 57.6 |
荷姿（例）
エレクトニクス用
製品物性
| 商品名 | 化学名 | 分子式 | 分子量 | 外観 | 密度(g/cm3) | 融点（°C） | 沸点（°C） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| KAE-02 | ジクロロシラン | SiH2Cl2 | 101.01 | ＊ | 1.22(7°C） | －122.0 | 8.2 |
| KAE-03D | トリクロロシラン | SiHCl3 | 135.45 | 無色透明液体 | 1.34(20°C） | －126.6 | 31.8 |
＊容器内（圧力0.2～1.7kg/cm2G）では無色透明ですが、常温常圧下では無色のガス体です。
荷姿（例）
ファイバー用
製品物性
| 商品名 | 化学名 | 分子式 | 分子量 | 外観 | 密度(g/cm3) | 融点（°C） | 沸点（°C） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| KAF-04 | 四塩化ケイ素 | SiCl4 | 169.90 | 無色透明液体 | 1.48(20°C） | -68.8 | 57.6 |
輸送形態（例）
※上記表中にある各製品のデータは規格値ではありません。
ご使用に際しては必ず事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかご確認ください。