高純度シラン
KAシリーズ
信越化学の高純度シラン類は、半導体最先端ロジック、メモリの絶縁膜およびアナログ半導体超高絶縁エピ膜等のエレクトニクス用途の他、光ファイバー合成石英原料となるファイバー用途、自動車省燃費タイヤゴムの改質剤等のケミカル用途と、幅広い用途に使われSDGs達成に素材で貢献しております。高度な精製技術と超微量分析技術、長年の信越シックスシグマ活動に裏付けされた厳しい品質管理、そして徹底した容器クリーン管理等に支えられた超高純度、極限まで低減された不純物の高品質と安定供給で、お客様の多様なニーズにお応えし、世界中の顧客から厚い信頼をいただいています。
用途
ケミカル用
エレクトニクス用
ファイバー用
ケミカル用
製品物性
| 商品名 | 化学名 | 分子式 | 外観 | 密度(g/cm3) | 融点（°C） | 沸点（°C） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| KA-03 | トリクロロシラン | SiHCl3 | 無色透明液体 | 1.34(20°C） | －126.6 | 31.8 |
| KA-04 | 四塩化ケイ素 | SiCl4 | 無色透明液体 | 1.48(20°C） | －68.8 | 57.6 |
荷姿（例）
エレクトニクス用
製品物性
| 商品名 | 化学名 | 分子式 | 分子量 | 外観 | 密度(g/cm3) | 融点（°C） | 沸点（°C） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| KAE-02 | ジクロロシラン | SiH2Cl2 | 101.01 | ＊ | 1.22(7°C） | －122.0 | 8.2 |
| KAE-03D | トリクロロシラン | SiHCl3 | 135.45 | 無色透明液体 | 1.34(20°C） | －126.6 | 31.8 |
＊容器内（圧力0.2～1.7kg/cm2G）では無色透明ですが、常温常圧下では無色のガス体です。
荷姿（例）
ファイバー用
製品物性
| 商品名 | 化学名 | 分子式 | 分子量 | 外観 | 密度(g/cm3) | 融点（°C） | 沸点（°C） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| KAF-04 | 四塩化ケイ素 | SiCl4 | 169.90 | 無色透明液体 | 1.48(20°C） | -68.8 | 57.6 |
輸送形態（例）
※上記表中にある各製品のデータは規格値ではありません。
ご使用に際しては必ず事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかご確認ください。